真空鍍膜機是目前鍍膜行業用得最廣泛的真空設備,隨著行業的發展,各種類型的真空鍍膜機也在逐漸出現。但是大部分人,并不了解真空鍍膜機的工作原理。真空鍍膜機最主要是由真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。真空設備也分好多類型和型號,比喻:磁控濺射鍍膜機、不銹鋼鍍膜機、蒸發鍍膜機,種類不一樣,用途不一樣,型號也就不一樣,但是它們的工作原理是相通和類似的,下面為匯成真空小編為大家詳細的講解一下真空鍍膜機的原理和常見問題,便于后期大家在采購鍍膜機的時候,方便溝通和交流,碰到常見的一些問題,也能自己及時處理,不至于消耗太多不必要的時間。
真空鍍膜機真空主體是真空腔,他是根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼" target=_blank>不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
它排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。
真空鍍膜機鍍膜過程對環境也是有一定的要求,加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要?;M入鍍膜室前均應進行認真的鍍前清潔處理,達到工件去油、去污和脫水的目的?;砻嫖廴緛碜粤慵诩庸?、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機油、拋光膏、油脂、汗漬等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學清冼方法將其去掉。對經過清洗處理的清潔表面,不能在大氣環境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳氫化合物蒸氣的吸附減至最小。因為這些容器優先吸附碳氫化合物。對于高度不穩定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應貯存在真空干燥箱中。
清除鍍膜室內的灰塵,設置清潔度高的工作間,保持室內高度清潔是真空
鍍膜機鍍膜工藝對環境的基本要求??諝鉂穸却蟮牡貐^,除鍍前要對基片、真空室內各部件認真清洗外,還要進行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內,注意油擴散泵返油,對加熱功率高的擴散泵必須采取擋油措施。