很多真空鍍膜機工程師在鍍膜工件完成后,有時會發現工件表面會出現白霧的問題,有的是出現在外表面,有的是出現在內表面,用丙酮或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現象,如果不能及時查明原因,就會造成不良率提升,這是很多鍍膜工程師苦惱的問題,下面匯成真空小編為大家介紹一下出現膜外白霧和膜內白霧的原因,以及解決方法,希望能幫助到大家:
真空鍍膜機鍍工件白霧在內測,膜外白霧的成因較為復雜,可能的成因有:
① 膜結構問題:外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙;
② 蒸發角過大,膜結構粗糙。
③ 溫差:鏡片出罩時內外溫差過大
④ 潮氣;鏡片出罩后擺放環境的潮氣
⑤ 真空室內POLYCOLD解凍時水汽過重
⑥ 蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻
⑦ 膜與膜之間的應力
改善思路:膜外白霧成因很多,但各有些特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環境減少吸附的對象。
改善對策:
㈠ 改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環境(干燥、清潔)
㈡ 降低出罩時的鏡片溫度(延長在真空室的冷卻時間)減少溫差、降低應力。
㈢ 改善充氧(加大),改善膜結構。
㈣ 適當降低蒸發速率,改善柱狀結構
㈤ 離子輔助鍍膜,改善膜結構
㈥ 加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水汽)
㈦ 從蒸發源和夾具上想辦法改善蒸發角。
㈧ 改善基片表面粗糙度。
㈨ 注意polycold解凍時的真空度。
真空鍍膜機鍍工件,白霧形成在膜內,無法用擦拭方法祛除。
可能的成因:
① 基片臟,附著前工程的殘留物
② 鏡片表面腐蝕污染
③ 膜料與膜料之間、膜料與基片之間的匹配。
④ 氧化物充氧不夠。
⑤ 第一層氧化鋯膜料,可能對某些基片產生白暈現象
⑥ 基片進罩前(洗凈后)受潮氣污染
⑦ 洗凈或擦拭不良,洗凈痕跡、擦拭痕跡
⑧ 真空室臟、水氣過重
⑨ 環境濕度大
改善思路:基片本身的問題可能是主要的,鍍膜是盡量彌補,鍍膜本身最大的可能是膜料匹配問題。
改善對策:
㈠改進膜系,第一層不用氧化鋯。
㈡盡量減少真空室開門時間,罩與罩之間在最短的時間內做好真空室的清潔、鍍膜準備工作。
㈢真空室在更換護板、清潔后,最好能空罩抽真空烘烤一下,更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈。
㈣改善環境
㈤妥善保護進罩前在傘片上的鏡片,免受污染。
㈥改善洗凈、擦拭效果。
㈦改善膜匹配(考慮第一層用Al2O3)
㈧改善膜充氧和蒸發速率(降低)
㈨加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。
㈩拋光加工完成的光面,必須立即清潔干凈,不能有拋光粉或其他雜質附著干結。